 ==================================================================
              Calculation using SRIM-2006 
              SRIM version ---> SRIM-2008.04
              Calc. date   ---> October 25, 2012 
 ==================================================================

 Disk File Name = SRIM Outputs\Helium3 in Silicon

 Ion = Helium [2] , Mass = 3.003 amu

 Target Density =  2.3212E+00 g/cm3 = 4.9770E+22 atoms/cm3
 ======= Target  Composition ========
    Atom   Atom   Atomic    Mass     
    Name   Numb   Percent   Percent  
    ----   ----   -------   -------  
     Si     14    100.00    100.00   
 ====================================
 Bragg Correction = -7.20%
 Stopping Units =  MeV / (mg/cm2) 
 See bottom of Table for other Stopping units 

   Ion        dE/dx      dE/dx     Projected  Longitudinal   Lateral
  Energy      Elec.      Nuclear     Range     Straggling   Straggling
-----------  ---------- ---------- ----------  ----------  ----------
  10.00 keV   2.471E-01  3.385E-02    1025 A       611 A       510 A   
  11.00 keV   2.596E-01  3.240E-02    1122 A       646 A       543 A   
  12.00 keV   2.722E-01  3.109E-02    1218 A       678 A       575 A   
  13.00 keV   2.849E-01  2.990E-02    1312 A       708 A       606 A   
  14.00 keV   2.976E-01  2.881E-02    1405 A       737 A       635 A   
  15.00 keV   3.103E-01  2.781E-02    1496 A       763 A       663 A   
  16.00 keV   3.229E-01  2.689E-02    1585 A       788 A       689 A   
  17.00 keV   3.353E-01  2.604E-02    1673 A       812 A       714 A   
  18.00 keV   3.476E-01  2.525E-02    1760 A       834 A       739 A   
  20.00 keV   3.716E-01  2.382E-02    1927 A       875 A       784 A   
  22.50 keV   4.005E-01  2.229E-02    2129 A       920 A       836 A   
  25.00 keV   4.282E-01  2.097E-02    2323 A       959 A       883 A   
  27.50 keV   4.549E-01  1.981E-02    2510 A       995 A       926 A   
  30.00 keV   4.805E-01  1.880E-02    2690 A      1027 A       966 A   
  32.50 keV   5.051E-01  1.790E-02    2864 A      1055 A      1003 A   
  35.00 keV   5.289E-01  1.709E-02    3033 A      1081 A      1037 A   
  37.50 keV   5.519E-01  1.636E-02    3197 A      1105 A      1068 A   
  40.00 keV   5.741E-01  1.570E-02    3356 A      1127 A      1098 A   
  45.00 keV   6.165E-01  1.455E-02    3661 A      1165 A      1152 A   
  50.00 keV   6.564E-01  1.357E-02    3952 A      1199 A      1200 A   
  55.00 keV   6.940E-01  1.274E-02    4231 A      1228 A      1243 A   
  60.00 keV   7.294E-01  1.201E-02    4498 A      1254 A      1283 A   
  65.00 keV   7.630E-01  1.137E-02    4756 A      1277 A      1319 A   
  70.00 keV   7.948E-01  1.080E-02    5005 A      1297 A      1352 A   
  80.00 keV   8.536E-01  9.843E-03    5481 A      1334 A      1411 A   
  90.00 keV   9.066E-01  9.055E-03    5933 A      1365 A      1463 A   
 100.00 keV   9.544E-01  8.397E-03    6363 A      1391 A      1509 A   
 110.00 keV   9.977E-01  7.837E-03    6777 A      1414 A      1550 A   
 120.00 keV   1.037E+00  7.355E-03    7177 A      1435 A      1588 A   
 130.00 keV   1.072E+00  6.935E-03    7564 A      1453 A      1622 A   
 140.00 keV   1.104E+00  6.564E-03    7941 A      1470 A      1654 A   
 150.00 keV   1.133E+00  6.236E-03    8309 A      1485 A      1683 A   
 160.00 keV   1.160E+00  5.942E-03    8669 A      1499 A      1711 A   
 170.00 keV   1.183E+00  5.677E-03    9023 A      1512 A      1737 A   
 180.00 keV   1.205E+00  5.437E-03    9370 A      1524 A      1762 A   
 200.00 keV   1.241E+00  5.018E-03    1.01 um     1547 A      1808 A   
 225.00 keV   1.277E+00  4.585E-03    1.09 um     1574 A      1860 A   
 250.00 keV   1.304E+00  4.227E-03    1.17 um     1598 A      1908 A   
 275.00 keV   1.324E+00  3.925E-03    1.25 um     1620 A      1952 A   
 300.00 keV   1.338E+00  3.667E-03    1.33 um     1641 A      1994 A   
 325.00 keV   1.347E+00  3.444E-03    1.41 um     1660 A      2033 A   
 350.00 keV   1.352E+00  3.248E-03    1.49 um     1678 A      2070 A   
 375.00 keV   1.354E+00  3.076E-03    1.56 um     1695 A      2106 A   
 400.00 keV   1.354E+00  2.922E-03    1.64 um     1712 A      2141 A   
 450.00 keV   1.347E+00  2.660E-03    1.80 um     1750 A      2207 A   
 500.00 keV   1.334E+00  2.444E-03    1.96 um     1787 A      2271 A   
 550.00 keV   1.318E+00  2.263E-03    2.12 um     1823 A      2333 A   
 600.00 keV   1.300E+00  2.109E-03    2.28 um     1859 A      2393 A   
 650.00 keV   1.280E+00  1.976E-03    2.45 um     1894 A      2453 A   
 700.00 keV   1.260E+00  1.861E-03    2.62 um     1928 A      2511 A   
 800.00 keV   1.219E+00  1.668E-03    2.96 um     2027 A      2628 A   
 900.00 keV   1.179E+00  1.514E-03    3.32 um     2125 A      2745 A   
   1.00 MeV   1.141E+00  1.388E-03    3.69 um     2224 A      2863 A   
   1.10 MeV   1.105E+00  1.282E-03    4.07 um     2325 A      2982 A   
   1.20 MeV   1.071E+00  1.192E-03    4.46 um     2426 A      3103 A   
   1.30 MeV   1.039E+00  1.115E-03    4.87 um     2529 A      3227 A   
   1.40 MeV   1.009E+00  1.048E-03    5.29 um     2634 A      3353 A   
   1.50 MeV   9.813E-01  9.894E-04    5.72 um     2740 A      3481 A   
   1.60 MeV   9.546E-01  9.372E-04    6.16 um     2848 A      3612 A   
   1.70 MeV   9.294E-01  8.906E-04    6.61 um     2957 A      3747 A   
   1.80 MeV   9.054E-01  8.487E-04    7.08 um     3068 A      3884 A   
   2.00 MeV   8.610E-01  7.763E-04    8.05 um     3435 A      4167 A   
   2.25 MeV   8.114E-01  7.025E-04    9.34 um     3973 A      4539 A   
   2.50 MeV   7.675E-01  6.423E-04   10.70 um     4502 A      4931 A   
   2.75 MeV   7.284E-01  5.921E-04   12.13 um     5028 A      5342 A   
   3.00 MeV   6.935E-01  5.497E-04   13.64 um     5553 A      5773 A   
   3.25 MeV   6.623E-01  5.133E-04   15.23 um     6081 A      6224 A   
   3.50 MeV   6.341E-01  4.816E-04   16.89 um     6612 A      6693 A   
   3.75 MeV   6.086E-01  4.539E-04   18.62 um     7146 A      7180 A   
   4.00 MeV   5.854E-01  4.293E-04   20.41 um     7686 A      7686 A   
   4.50 MeV   5.447E-01  3.879E-04   24.22 um     9566 A      8752 A   
   5.00 MeV   5.103E-01  3.541E-04   28.30 um     1.14 um     9885 A   
   5.50 MeV   4.806E-01  3.260E-04   32.63 um     1.31 um     1.11 um  
   6.00 MeV   4.548E-01  3.023E-04   37.23 um     1.48 um     1.23 um  
   6.50 MeV   4.319E-01  2.819E-04   42.08 um     1.65 um     1.37 um  
   7.00 MeV   4.090E-01  2.643E-04   47.20 um     1.82 um     1.51 um  
   8.00 MeV   3.713E-01  2.352E-04   58.23 um     2.44 um     1.80 um  
   9.00 MeV   3.415E-01  2.122E-04   70.30 um     3.02 um     2.13 um  
  10.00 MeV   3.167E-01  1.935E-04   83.38 um     3.58 um     2.47 um  
  11.00 MeV   2.956E-01  1.779E-04   97.43 um     4.14 um     2.84 um  
  12.00 MeV   2.775E-01  1.648E-04  112.45 um     4.70 um     3.24 um  
  13.00 MeV   2.617E-01  1.536E-04  128.40 um     5.26 um     3.65 um  
  14.00 MeV   2.478E-01  1.439E-04  145.29 um     5.83 um     4.09 um  
  15.00 MeV   2.355E-01  1.354E-04  163.09 um     6.40 um     4.55 um  
  16.00 MeV   2.244E-01  1.279E-04  181.80 um     6.99 um     5.03 um  
  17.00 MeV   2.145E-01  1.212E-04  201.40 um     7.58 um     5.53 um  
  18.00 MeV   2.055E-01  1.152E-04  221.89 um     8.18 um     6.05 um  
  20.00 MeV   1.898E-01  1.049E-04  265.44 um    10.36 um     7.15 um  
  22.50 MeV   1.736E-01  9.450E-05  324.68 um    13.47 um     8.64 um  
  25.00 MeV   1.602E-01  8.604E-05  389.16 um    16.42 um    10.25 um  
  27.50 MeV   1.489E-01  7.904E-05  458.79 um    19.31 um    11.98 um  
  30.00 MeV   1.393E-01  7.313E-05  533.46 um    22.19 um    13.82 um  
  32.50 MeV   1.309E-01  6.809E-05  613.10 um    25.07 um    15.78 um  
  35.00 MeV   1.236E-01  6.373E-05  697.63 um    27.97 um    17.84 um  
  37.50 MeV   1.172E-01  5.991E-05  786.98 um    30.91 um    20.02 um  
  40.00 MeV   1.114E-01  5.655E-05  881.10 um    33.88 um    22.30 um  
  45.00 MeV   1.016E-01  5.088E-05    1.08 mm    44.75 um    27.18 um  
  50.00 MeV   9.359E-02  4.629E-05    1.30 mm    55.00 um    32.46 um  
  55.00 MeV   8.684E-02  4.249E-05    1.54 mm    65.00 um    38.15 um  
  60.00 MeV   8.109E-02  3.929E-05    1.80 mm    74.93 um    44.23 um  
  65.00 MeV   7.614E-02  3.656E-05    2.07 mm    84.89 um    50.68 um  
  70.00 MeV   7.182E-02  3.420E-05    2.36 mm    94.92 um    57.52 um  
  80.00 MeV   6.464E-02  3.031E-05    3.00 mm   131.41 um    72.28 um  
  90.00 MeV   5.891E-02  2.725E-05    3.69 mm   165.43 um    88.47 um  
 100.00 MeV   5.422E-02  2.478E-05    4.45 mm   198.62 um   106.03 um  
 110.00 MeV   5.031E-02  2.273E-05    5.28 mm   231.61 um   124.92 um  
 120.00 MeV   4.699E-02  2.100E-05    6.16 mm   264.72 um   145.11 um  
 130.00 MeV   4.413E-02  1.953E-05    7.11 mm   298.11 um   166.56 um  
 140.00 MeV   4.165E-02  1.826E-05    8.11 mm   331.87 um   189.24 um  
 150.00 MeV   3.948E-02  1.715E-05    9.17 mm   366.05 um   213.12 um  
 160.00 MeV   3.755E-02  1.618E-05   10.29 mm   400.66 um   238.16 um  
 170.00 MeV   3.583E-02  1.531E-05   11.46 mm   435.73 um   264.35 um  
 180.00 MeV   3.429E-02  1.453E-05   12.69 mm   471.26 um   291.66 um  
 200.00 MeV   3.163E-02  1.320E-05   15.31 mm   603.05 um   349.54 um  
 225.00 MeV   2.892E-02  1.186E-05   18.86 mm   790.41 um   427.77 um  
 250.00 MeV   2.672E-02  1.077E-05   22.73 mm   966.74 um   512.22 um  
 275.00 MeV   2.490E-02  9.874E-06   26.90 mm     1.14 mm   602.57 um  
 300.00 MeV   2.335E-02  9.120E-06   31.37 mm     1.31 mm   698.54 um  
 325.00 MeV   2.203E-02  8.476E-06   36.11 mm     1.48 mm   799.88 um  
 350.00 MeV   2.089E-02  7.920E-06   41.12 mm     1.64 mm   906.34 um  
 375.00 MeV   1.989E-02  7.435E-06   46.40 mm     1.81 mm     1.02 mm  
 400.00 MeV   1.901E-02  7.009E-06   51.93 mm     1.98 mm     1.13 mm  
 450.00 MeV   1.753E-02  6.291E-06   63.72 mm     2.61 mm     1.38 mm  
 500.00 MeV   1.633E-02  5.712E-06   76.45 mm     3.18 mm     1.64 mm  
 550.00 MeV   1.534E-02  5.233E-06   90.05 mm     3.73 mm     1.92 mm  
 600.00 MeV   1.451E-02  4.831E-06  104.47 mm     4.27 mm     2.21 mm  
 650.00 MeV   1.380E-02  4.488E-06  119.69 mm     4.80 mm     2.51 mm  
 700.00 MeV   1.319E-02  4.193E-06  135.64 mm     5.32 mm     2.83 mm  
 800.00 MeV   1.219E-02  3.708E-06  169.60 mm     7.20 mm     3.49 mm  
 900.00 MeV   1.141E-02  3.326E-06  206.11 mm     8.89 mm     4.19 mm  
   1.00 GeV   1.078E-02  3.018E-06  244.93 mm    10.49 mm     4.92 mm  
   1.10 GeV   1.027E-02  2.764E-06  285.83 mm    12.01 mm     5.68 mm  
   1.20 GeV   9.849E-03  2.551E-06  328.63 mm    13.49 mm     6.45 mm  
   1.30 GeV   9.491E-03  2.369E-06  373.15 mm    14.92 mm     7.25 mm  
   1.40 GeV   9.186E-03  2.212E-06  419.26 mm    16.33 mm     8.07 mm  
   1.50 GeV   8.923E-03  2.076E-06  466.81 mm    17.70 mm     8.89 mm  
   1.60 GeV   8.695E-03  1.955E-06  515.69 mm    19.04 mm     9.73 mm  
   1.70 GeV   8.496E-03  1.849E-06  565.77 mm    20.36 mm    10.57 mm  
   1.80 GeV   8.321E-03  1.754E-06  616.98 mm    21.65 mm    11.43 mm  
   2.00 GeV   8.028E-03  1.591E-06  722.34 mm    26.36 mm    13.15 mm  
   2.25 GeV   7.744E-03  1.426E-06  858.87 mm    32.77 mm    15.31 mm  
   2.50 GeV   7.524E-03  1.293E-06  999.90 mm    38.45 mm    17.48 mm  
   2.75 GeV   7.353E-03  1.184E-06    1.14 m     43.64 mm    19.64 mm  
   3.00 GeV   7.216E-03  1.092E-06    1.29 m     48.48 mm    21.78 mm  
-----------------------------------------------------------
 Multiply Stopping by        for Stopping Units
 -------------------        ------------------
  2.3211E+01                 eV / Angstrom 
  2.3211E+02                keV / micron   
  2.3211E+02                MeV / mm       
  1.0000E+00                keV / (ug/cm2) 
  1.0000E+00                MeV / (mg/cm2) 
  1.0000E+03                keV / (mg/cm2) 
  4.6637E+01                 eV / (1E15 atoms/cm2)
  5.5421E+00                L.S.S. reduced units
 ==================================================================
 (C) 1984,1989,1992,1998,2008 by J.P. Biersack and J.F. Ziegler
